垃圾焚烧残渣处置设备的工艺流程如下：

进料：通过配伍、输送等步骤，使待处置废物合理搭配适合焚烧处置要求，有利于废物在后续焚烧过程中完全分解。

焚烧处置：通过回转窑一次燃烧、二次燃烧等步骤，使危险废物能够在800-1300℃下完全焚毁，保证工艺控制中限定的99.999%的焚毁率。

烟气冷却：通过余热回收、急速冷却等步骤，使二燃室排出的烟气温度降至200℃以下；余热回收主要是将烟气温度降至600℃，不得低于600℃，在降温过程中回收热源提供给厂区其他设施，保证热资源的再利用；急冷降温使烟气温度在一秒钟内由600℃降至200℃，最大限度减少二恶英的再合成。

尾气洗涤：通过干、湿法两步脱酸确保酸性污染物去除效率；采用世界领先的膜分离技术与活性炭吸附技术有机结合，确保烟尘、二恶英、重金属等污染物去除效率。

以上是垃圾焚烧残渣处置设备的工艺流程，仅供参考，建议咨询专业人士获取更准确的信息。